濕度傳感器是基于其功能材料能發生與濕度有關的物理效應或化學反應的基礎上制造的。它有將濕度物理量轉換成電信號的功能，這些功能可以通過與濕度有關的電阻或電容的變化，長度或體積的脹縮以及結型器件或MOS器件的某些電參數的變化，例如PN結擊穿電壓、電流放大系數、反向漏電流、MOS器件的溝道電阻等的變化而得以實現。濕度傳感器的特性參數主要有:濕度量程、靈敏度、溫度系數、響應時間、濕滯回差`感濕特征量一一相對濕度特性曲線等。

濕度傳感器能較精確地測量環境相對濕度(或絕對濕度)的最大范圍，稱為濕度敏感器件的濕度量程。由于各種濕度敏感器件所使用的功能材料不同，以及器件工作所依據的物理效應或化學反應的不同，器件不一定能夠在整個相對濕度范圍內(0~100%RH)都具有可供使用的濕度敏感特性。某些濕度傳感器只適用于某一段相對濕度范圍。例如，目前使用較普通的氧化鋰濕度敏感器件的每片使用范圍就只有大約20%RH左右，因此使用時就需要多片組合。此外，在生產實踐中，不同的生產或生活條件要求濕度敏感器件在不同的相對濕度范圍內工作。例如，木材的干燥系統中，濕度敏感器件工作的濕度范圍主要在0~40%RH;而在室內的空氣調節系統中，濕度敏感器件工作的濕度范圍則主要在40%RH一70%RH;用于氣象探測的濕度敏感器件則應能在0~100%RH的范圍內工作。因此，濕度敏感器件的濕度量程是表示器件使用范圍的特性參數。顯然，器件的濕度量程以0~100%RH為最佳:濕度量程越大，器件的使用價值就越大。