主要優點:

    1.測量結果與被測氣體種類或成分無關，還可測量蒸氣；

    2.金屬陶瓷質規管可加熱烘烤除氣；

    3.可用于有腐蝕性氣體場合；

    4.在真空計量中可作為低真空副標準量具使用。

    主要缺點是易受溫度變化干擾。用于精密測量時，需采用恒溫補償措施。

    在真空保鮮技術和設備中常采用電容式薄膜真空計進行真空度測量。