真空系統的材料

真空系統的材料除了要求強度、剛度足夠，加工容易，化學穩定性和熱穩定性好，價廉易得等以外，還要求氣密性好、放氣率低、穆透率低和在工作溫度下飽和蒸氣壓低。

放氣率是指氣體從置于真空系統中的材料上自然而然地釋放出來的速率。常用材料的放氣率如表4-1所示。

滲透率是指真空系統外的氣體通過材料進入真空系統內的速率。

材料的蒸氣壓是指將某種一定溫度的材料置于絕對真空中，該材料的分子蒸發達到飽和狀態所具有的壓力。各種金屬、化合物的蒸氣壓可從真空設計手冊等有關資料中查取。材料的放氣率大、滲透率高和蒸氣壓高都會在抽空時增加抽氣負荷，影響系統的真空性能。