真空電磁閥的檢查

檢查真空電磁閥的目的是為了防止抽氣過程中，由于突然停電等原因，造成真空電磁閥啟閉失效而使空氣逆流進人機組中。關閉抽氣管路上所有的手動真空隔膜閥，并啟動真空泵。

1~3 min后將管路抽空至133 Pa以下，關閉真空泵。在幾分鐘內，檢查管路中的真空度。若真空度下降速度較快，說明真空電磁閥逆流未切斷，也就是說真空電磁閥的性能達不到要求，則應檢查真空電磁閥。但也可能是配管或接頭處發生泄漏，要進行認真檢查。另一種簡易的檢驗方法:啟動真空泵，并用手指放在真空電磁閥上部的吸排氣管口，對手指無吸力，則說明氣管無氣流;停止真空泵，氣管有空氣吸進，對手指有吸力，則說明真空電磁閥性能完好。

檢查抽氣系統有無泄漏

若焊縫有泄漏情況存在，應重新焊接;若配管接頭等處有泄漏情況存在，應更換聚四氟乙烯密封墊片，再進行裝配或用真空密封膏密封。

機組氣密性的檢查

機組在出廠前，雖然已經對機組各部分進行過嚴格的氣密性試驗，但機組出廠后由于運輸、起吊及安裝時產生振動等原因，也可能造成機組某些部位存在泄漏處。因此，在機組調試前，應對機組重新進行氣密性檢查。此項工作是機組現場調試的主要工作，是機組能否高效運行的重要保證。

氣密性試驗的內容包括檢漏和真空檢漏。檢漏通常采用壓力檢漏、電子鹵素檢漏、真空檢漏和氦質譜檢漏儀檢漏4種方法。